磁柵尺工藝指標 ：

　　 球柵尺SPHEROSYN 球柵尺MICROSYN

　　測量分辨率 0.005mm/0.001mm 0.001mm/0.0005mm

　　測量準確度 ±(0.01+0.005/m)mm ±0.005mm

　　*大運行速度 2m/sec 0.75m/sec

　　有效行程 50～11684mm(>30m) 50～1050mm

　　信號輸出 Sin/Cos或RS422-TTL Sin/Cos或RS422-TTL

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